UVLED解胶机ULJJ12C
UVLED解胶机是一种将UV切割膜胶带表面固化,从而完成晶圆芯片自动解胶的光源固化设备,是一种冷光源LED紫外线解胶固化灯。UVLED解胶机的标准产品为365nm波段的紫外固化设备,可根据客户实际使用工况提供365nm、385nm、395nm和405nm波段的光源解胶机。
主要应用在半导体芯片的生产加工过程中,在芯片划片前,需要将晶圆用划片胶膜固定在框架上,在进行完划片加工工艺后,这时需要用到紫外线光源对固定住的划片胶膜进行照射,使胶膜上的UV胶水完成固化,方便晶圆切片进行后续的封装工序,UVLED解胶机采用箱体式结构,内部配有UVLED紫外光固化设备,控制面板采用智能显示屏控制系统,可1-100%调节功率大小、照射时长,使用非常方便;标准尺寸,UV解胶机处理6-12寸晶圆。也可以按照客户要求定制。
UVLED解胶机广泛应用于晶圆制造、玻璃、陶瓷切割工艺的解胶工序,同时还应用于光学镜头、LED、IC、集成电路等半导体材料UV膜脱胶使用工艺中;
UVLED解胶机,表面光洁、粘性强平整度高,耐温均匀、能有效降低施工成本,缩短硅晶圆和表面粘性,为客户降低生产成本,采用进口LED灯珠,具有能量高光照均匀,环保更高效的一款UVLED解胶机。